广州某半导体基带芯片基带芯片研发厂,晶圆生产流程中存在含硅、氟的特色污水,设计方案解决面积1200吨/日。污水营养成分繁琐,含有奈米级硅小粒及氢佛酸,傳統解决最简单的方法易于及格。
废污水基本成分及源于
关键环境废弃物
:氢氧化铁硅(100-500nm颗粒直径)、氟化合物(200-300mg/L)、异丙醇
来自制作工序
:晶圆刻蚀生产废水处理方法(45%)、CMP生物学机械装备磨光生产废水处理方法(40%)、机器设备清洗阴道水(15%)
正确处理工艺设计流量
转型升级分为"化工悠长岁月中+特殊工种膜剥离 "水平路径:
钙盐沉淀出的
:加药氯化钙清除氟铝离子(转换CaF2沉淀出的)
二沉池的反应
:黏结二沉池剂体现溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm管径膜公款私存微细粉末
反渗入系统性
:脱盐率>98%,收购率75%
蒸馏心得
:浓水段推动氟化物零产生
从而治疗效果
氟化物氧浓度:<8mg/L(最低部委考试内容一级标淮10mg/L)
硅份量:<5mg/L
水网络资源工业废水处理率:70%广泛用于加热塔补湿
垃圾减轻药量:蒸发掉食物残渣量较老式工艺流程减掉60%