某光电器件制作业企业因晶圆的洗涤工艺技术产生了含氨污废水 ，水流量200吨/天。污废水 中除氟化物外还有氟化物和微量分析高价属，治理关卡大。各地直接水质标准单位标准氟化物＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 废液含量及特征 晶圆的洗涤废气（常见来源于）：含氯离子200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀工步污水：含轻微铜、镍等高价属，pH值动荡大 CMP研磨抛光废液：含硅粉末及化学需氧量 处里方案方案 通过"催化沉积+膜拆分+折点氯化"组合式施工工艺： 预解决 ：污泥脱水CaCl2除氟，有效控制pH在7.5-8. 超滤膜机系统 ：清理0.01μm上述科粒物 反融合浓缩造成 ：将挥发酚浓缩提炼至1000mg/L上 折点氯化 ：精准度把控氯加药系统量，将氧化还原电位转成为氦气 阳离子对换 ：保证天价属达到 后面效用 高锰酸盐指数可靠＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 高价属含水量压低查重限 水循环率达75% 污泥处理导致量避免40%