某半导体设备加工处理器制造出厂在晶圆粗加工具体步骤中,安全使用硅烷参与硅概念的生长,排放洗滌塔引发高有机废气浓度含硅生产废气。生产废气更具pH变化大(2-11)、硅含铁高的作用,传统的加工处理方式 易存在硅垢空气能管道堵塞故障 。
焦化废水的成分及原因
工业废水主要的基本成分为:
降解性硅酸盐
:SiO₂盐浓度达1000-1500mg/L
氢被氧化钠/氢被氧化钠
:清洗剂塔酸性清洗剂液无残留
粒状硅
:納米级SiO₂氢氧化铁
痕量砷
:成分硫氰酸盐带进
工作生产技术标准流程
革新用"二级结合+膜过滤系统+减压蒸馏心得"鑫霖环保:
一级通过成绩结合
:用CaO设定pH至4-5,转成硅酸钙沉淀物,硅快速清理率60%。
一级中合
:加Na₂CO₃将pH优化至9,进一大步放置结余硅,电容串联用镁剂除砷。
反渗透装置系統
:0.02μm卫浴陶瓷膜过滤程序納米级硅科粒,通量不稳定性在80LMH。
MVR冷疑器器
:浓缩液高盐废水处理工艺,结晶体出Na₂SO₄副新产品,水造纸废水处理率超90%。
不可能特效
总硅从1500mg/L减至5mg/L一下
砷分子量从0.8mg/L降为0.01mg/L
装置无水垢正常运作达到2年
几乎每年收回磷酸钠氯化钠晶体约800吨