该厂为85英寸晶圆生產线配套设施的超去离子水系統,一整天发生含硅污水150吨。污泥中虽无高价属,但硅分量高易结渣,且电阻器率需可达18MΩ·cm方能使用。改变操作生产工艺难以满足需要新出台的《光电子工业企业水破坏物排污基准》(GB39731-2020)尤其是排污标准值。
生活污水成份特性
主要的危害物
:电解质溶液硅(200-300mg/L)、粉末硅(粒级0.1-1μm)
唯一性请求
:TOC<10μg/L,硼水分含量<5μg/L
水体质量性能特点
:低纯水电导率(<50μS/cm)但硅化学物质行态更复杂
处理制作工艺方案
企业创新采取"梯级膜分割+电去铝离子"组合构成制作工艺:
微滤预治理
:1μm卫浴陶瓷膜电话拦截大粒状硅,通量确保80LMH
阴阳离子相互交换聚酯树脂
:D201大孔硅橡胶选取性吸附剂硅酸碳原子
中级RO系统性
:独一段收购率60%,第二名段主要包括高脱硼膜构件
EDI电去正离子
:电流量导热系数2A/m²,保持彻底清除残留化合物
太阳光的紫外线臭氧消毒
:254nm分光光度计线用药量40mJ/cm²
技术性不足之处
开放多功能阻硅剂(有机酸胺类挽回物),减慢膜污染源周期公式3倍
EDI输出模块创新发展流道结构设计,硅去掉率增加至99.8%
在线免费硅研究检测仪(校正範圍0.1-500μg/L)满足招商精准设定
操作功效
经再次方测试:
总硅从280mg/L调至0.05mg/L
硼占比从8μg/L减至0.3μg/L
软件回笼率从原40%不断提升至68%
膜换成生长期减少至5年,年开机运行投资成本拉低35%