该晶圆手工制造厂地属华东地地,最主要制造84英寸半导体器件晶圆,平均污水废气用水量上涨约800吨。在制造的时候中在使用广泛盐酸来进行晶圆蚀刻,影响污水底氟化物溶度高达到200-300mg/L,远超政府废气排放原则原则(10mg/L这)。
焦化废水组成及渠道
化工废水具体基这三个原则:
晶圆蚀刻步骤
:含高有机废气浓度氟化物(HF)、氰化钠及一些巨资属
无机化学机械化抛光处理(CMP)工业废水
:含納米级硅颗粒肥料、有机会络合剂
环保设备洁净废水处理
:含异丙醇、氯离子等生物碳物
办理新工艺具体流程
通过"化学物质水解+沥青混凝土水解+长度油烟净化器"3级加工整体:
1级工作
:加药氯化钙和氢空气氧化钙,型成氟化钙积累,氟化物取除率达85%
二级考试加工处理
:移除PAC(缩聚氯化铝)和PAM(pe塑料酰胺),消除电解质溶液态危害物
三阶段加工处理
:在多媒介过滤装置器和活性氧炭活性炭吸附,喷水氟化物氧浓度平稳在8mg/L下述
首要机器设备收录:pH系统性自动上下调整系统性、斜管沉淀自己池、板框过滤机(工业废水脱水怎么办)。
终于目的
的项目运作几年监测系统数据源提示:
氟化物平均的氧化还原电位:7.2mg/L(如果低于地方规范标准)
COD出掉率:92%
工业废水含水分率:≤65%
年收购氟化钙副物料约150吨,达到市场化通过