半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
工程大环境
该制造业园集聚了十余家半导体设备相关联厂家的,定制日操作效率5000吨,需操作产于其他厂家的的混合型污污水 。仍然各厂家的出产加工不一致性大,污污水 材质繁复变幻,操作分值较高。
污废水 化学物质及收入
废气处理方法其主要还有五大类:亚砷酸钠值可挥发废气处理方法(光刻胶、显影液液等)、含氟废气处理方法(刻蚀繁琐流程)和耐酸碱废气处理方法(清洁工作繁琐流程)。特殊的因素还有异丙醇、四甲基氢空气氧化铵等难光降解可挥发物,以其氟化物、化学需氧量等硅酸感染物。废气处理方法COD振幅大(500-3000mg/L),氟化物渗透压值100-500mg/L,化学需氧量50-150mg/L。
清理流程步骤流程步骤
进行"定义提取+分质办理+密集深度的办理"的信息化模式,:
的企业内归类预操作:含氟污水设定清理并预操作
该项目FDA监督管理局分类管理传输整体
总合的调节池均匀水质监测
二级沥青混凝土乳浊液除去浮窗物和胶体溶液
便捷海洋生物发生植物细胞培养(HBR)处理有机质空气有机废气
二腐蚀碳离子液体腐蚀可降解难分析有机化学物
反加入系統完成脱盐除理
直射线进行消毒保障出水量安全防护
特别设计了手机在线数据监测软件机系统和智能加量软件机系统,对付水污染跌涨。
后面结果
系统化行驶五年来,治理 体验保持稳定可信。冒水COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,氟化物<5mg/L,总氮<15mg/L,达到河流Ⅳ类规格,一部分回收于工业区绿化带及待闭式冷却塔保湿,回收率高出30%。第一年削减清新水运行约40万吨,为工业区中小型企业合理节省电费数十万来万。