项目流程环境
某大中型半导体鑫霖环保芯片创造客户建在长江三角洲型中北部,首要分娩晶圆和鑫霖环保芯片。在分娩历程中,晶圆割孔和抛光进行处理时段.有丰富碾磨液焦化废水,平均产生物量约50吨。是由于焦化废水底包含高氧化还原电位浮动物、塑料亚铁离子及有机物使用剂,同时产生物会对生态环境有频发破坏,客户人们非常基本建设专门进行处理生活设施。
污水成份及来原
机磨液工业废水最基本的由来于晶圆加工处理中的耐腐蚀机械设备抛光处理(CMP)工艺程序,最基本的被污染的物包涵:
浮动小粒物
:二空气氧化物硅、空气氧化物铝等打磨粒子,粒级在0.1-1μm,浓硫酸浓度高达到2000mg/L。
黑色金属铁离子
:铜、铁、锌等,存在抛光处理垫损伤及晶圆表明金属件层,铜铝离子酸度约50mg/L。
巧妙“食品添加剂的
:收录单单从表面渗透性剂、阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸碱平衡性类物质
:pH值振幅大,一般 在2-11之間。
解决鑫霖环保方案
采取废水除理方法因素,主要采用“预除理+生物化学+角度除理”整合工艺设计:
改善池
:动态平衡水污染需水量,“添加碱酸改善pH至比较适中。
混泥土沉淀物
:加药系统PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚丙烯塑料酰胺),避开浮窗物和固体,沉降后SS避开率>90%。
催化剂的作用脱色
:用Fenton微生物培养基(H₂O₂+Fe²⁺)吸附有机酸增长剂,COD祛除率达60%。
生物技术工作
:MBR膜微生物反應器再次一个脚印溶解多余巧妙物,COD下降100mg/L以下的。
阴阳离子交易
:專用树酯降解铜亚铁离子,喷水铜含水量<0.5mg/L。
砂滤+渗透性炭活性炭过滤
:确认冒水清清的,到《生活污水整合排放口标准规定单位》(GB8978-1996)一級标准规定单位。
从而目的
程序运作增强后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜正离子<0.3mg/L。
工业废水处理处理率达40%,其他符合标准尾气排放量,年增多废水处理尾气排放量1.5万吨。
进行处理价格约15元/吨,远最低市场年均。